MEMS加速度計性能測評

本文介紹了微機電系統(MEMS)加速度計的多項特性，它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些數據來說明MEMS技術的發展狀況及性能水平，並將其與商用壓電(PZT)狀態監控加速度計進行比較。 對MEMS工藝技術的投資加上設計創新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成爲更廣泛狀態監控應用的可行選擇。採用專門化MEMS結構和工藝技術，現在已實現諧振頻率高達50 kHz、噪聲密度低至

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