mems加速度計的性能解答-傳感器專題

mems加速度計的性能解答 線性度  線性度主要是爲了使加速度計有較好的線性輸出，即MEMS芯片輸出的電壓值（模擬或數字）與芯片受到的加速度值成正比。而事實上非線性因素是難以避免的，如彈簧的設計，阻尼系統的設計，可變電容結構的設計，還有信號的採集等或多或少都會產生一些非線性的效應。而MEMS加速度計的關鍵技術就是使這些非線性效應降低到能接受的程度。選用適當的機械結構設計，或研究開發一些新型的機械結

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