MEMS加速度芯片的應用

MEMS加速度芯片的應用 隨着MEMS技術的發展，慣性傳感器件在過去的幾年中成爲最成功，應用最廣泛的微機電系統器件之一，而微加速度計就是慣性傳感器件的傑出代表。微加速度計的理論基礎就是牛頓第二定律，根據基本的物理原理，在一個系統內部，速度是無法測量的，但卻可以測量其加速度。如果初速度已知，就可以通過積分計算出線速度，進而可以計算出直線位移。 電容式微加速度計 電容式微加速度計是最常見的，也有成熟推

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