MEMS加速度計核心簡介

隨着硅微機械加工技術(MEMS)的迅猛發展,各種基於MEMS技術的器件也應運而生,目前已經得到廣泛應用的就有壓力傳感器、加速度傳感器、光開關等等,它們有着體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高等特點，而且因爲其加工工藝一定程度上與傳統的集成電路工藝兼容，易於實現數字化、智能化以及批量生產，因而從問世起就引起了廣泛關注,並且在汽車、醫藥、導航和控制、生化分析、工業檢測等方面得到了較爲迅速的應用。其

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