MEMS加速度計有什麼優勢

MEMS是指可批量製作的，將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成於一塊或多塊芯片上的微型器件或系統。 　　用MEMS工藝製造的傳感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生產等特點。同時，MEMS傳感器不僅能夠感知被測參數，將其轉換成方便度量的信號;而且能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷，因此形象地被稱爲智能傳感器。 MEMS傳感器有啥優

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