MEMS加速度計有哪些類型？

MEMS加速度計有哪些類型？ MEMS加速度計以集成電路工藝和微機械加工工藝爲基礎，將電子原件和機械原件集成在一塊芯片上，具有體積小、質量輕、成本低、能耗低、集成度高等一系列的優點，微加速度計的種類較多主要如下： 1、角振動加速度計、線振動加速度計 2、扭擺式加速度計、懸臂樑式加速度計、彈簧支撐式加速度計 3、電容式加速度計、電阻式加速度計、諧振式加速度計、熱流式加速度計、隧道電流式加速度計 4、

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