加速度計的簡述（mems加速度計）

加速度計的簡述（mems加速度計） Mesm加速度計的應用領域一下是一些簡單劃分和介紹 其中msms加速度計的的結構設計原則 1、同向性原則：當硅微結構受到各方向衝擊作用時，只有某一個或者幾個方向最爲敏感，其餘方向則是遲鈍的。 2、靈敏性設計原則：靈敏行設計是指在硅微結構空間中微納米量級的位移能反映加速度的變化，並且有效的用相關電物理量（電容量）測定結果，所以有着姣好的靈敏度。

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