Mems電容式加速度計的種類（一）

Mems電容式加速度計的種類（一） 隨着科技發展加速度計從原來大的尺寸逐漸往小型化發展可以應用在各行各業並且在性能上更上一層樓，給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的加速度計分爲六大類 電容式加速度計 壓阻式加速度計 壓電式加速度計 諧振式加速度計 隧穿式加速度計 熱對流式加速度計 其中電容式加速度計的結構可分爲三種結構： 1、蹺板擺式加速度計 2、梳齒式硅微機械加速度計 3、

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