MEMS電容式加速度傳感器（簡介）-傳感器專題

MEMS電容式加速度傳感器（簡介） 　MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域，與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適於批量化生產、易於集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特徵尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。其中MEMS加速度傳感器被現在廣泛應用在各個有着需要運動的領域中。 因爲一個國家的航天發展程

>>阅读原文<<