MEMS振鏡簡介

MEMS振鏡基本理論 MEMS振鏡是一種基於微機電系統（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）技術製作而成的微小可驅動反射鏡。鏡面直徑通常只有幾毫米。與傳統的光學掃描鏡相比，具有重量輕，體積小，易於大批量生產，生產成本較低的優點。在光學，機械性能和功耗方面表現更爲突出。因此，MEMS振鏡已經在條形碼掃描，高清投影，激光共焦顯微系統等領域得到應用。 MEMS振鏡分

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