關於MEMS加速度計封裝的發展

MEMS的發展目標在於通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元器件與系統，開闢一個新技術領域和產業，其封裝就是確保這一目標的實現，起着舉足輕重的作用。幾乎每次國際性MEMS會議都會對其封裝技術進行熱烈討論，多元化研發另闢蹊徑。各種改進後的MEMS封裝不斷涌現，其中較有代表性的思路是涉及物理、化學、生物、微機械、微電子的集成微傳感器及其陣列芯片系統，在實現MEMS片上系統後，再進行封裝；另一種是將

>>阅读原文<<