MEMS陀螺儀如何進行信號溫漂補償

MEMS陀螺儀具有尺寸小、能耗低、質量輕、價格低等優點，應用廣泛，但由於加工工藝的原因，目前微機械陀螺儀精度相對較低，陀螺儀結構尺寸、材料性質及檢測電路中電子器件均會受溫度影響，克服溫度漂移、隨機誤差是提高微機械陀螺儀測量精度的關鍵。 陀螺儀基本原理 圖1爲單軸陀螺原理示意圖，陀螺有2個互相垂直的振動方向，分別爲激勵方向X（驅動模態）和由科里奧利力引起的敏感振動方向Y （檢測模態）。Ｘ 方向的驅動

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