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MEMS陀螺儀如何進行信號溫漂補償
時間 2021-01-19
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MEMS陀螺儀具有尺寸小、能耗低、質量輕、價格低等優點,應用廣泛,但由於加工工藝的原因,目前微機械陀螺儀精度相對較低,陀螺儀結構尺寸、材料性質及檢測電路中電子器件均會受溫度影響,克服溫度漂移、隨機誤差是提高微機械陀螺儀測量精度的關鍵。 陀螺儀基本原理 圖1爲單軸陀螺原理示意圖,陀螺有2個互相垂直的振動方向,分別爲激勵方向X(驅動模態)和由科里奧利力引起的敏感振動方向Y (檢測模態)。X 方向的驅動
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