MEMS智能傳感器技術的新進展

來源：MEMS 引言 信息社會已步入智能時代發展階段，智能手機、智能可穿戴設備、無線智能網絡、智能汽車、智能無人機和智能機器人等智能設備的創新與發展正在或將要改變信息社會的各個方面，而作爲智能時代發展的基礎和關鍵技術之一，MEMS智能傳感器也已進入快速發展的新階段。 20世紀70年代後期隨着微電子的發展，可賦予傳感器以「智能」的功能，人們提出智能傳感器的概念，其包含傳感器、執行器、合適的電源、內在

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