MEMS傳感器科普文

來源：MEMS技術 MEMS 的全稱是微型電子機械系統，利用傳統的半導體工藝和材料，集微傳感器、微執行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等於一體的微型器件或系統。具有小體積、低成本、集成化等特點。 MEMS工作原理圖 1 MEMS傳感器的應用領域 除了智能手機，MEMS傳感器將會在 AR/VR、可穿戴等消費電子，智能駕駛、智能工廠、智慧物流、 智能家居、環境監

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