前途無量的MEMS傳感器

來源：轉載自「民生證券」，謝謝 微機電系統（Microelectromechanical Systems，簡稱 MEMS）是將微電子技術與精密機械技術結合發展出來的工程技術，尺寸在 1 微米到 100 微米量級，涵蓋機械（移動、旋轉）、光學、電子（開關、計算）、熱學、生物等功能結構，主要分爲傳感器、致動器、三維結構器件等三大類。與 MEMS 類似，NEMS（Nanoelectromechanica

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