MEMS傳感器的產業鏈

MEMS傳感器的產業鏈 一、MEMS簡介MEMS的全稱是微型電子機械系統利用半導體制造工藝和材料，將傳感器、執行器、機械機構、信號處理和控制電路等集成於一體的微型器件或系統，其內部結構一般在微米甚至納米量級。MEMS主要包含兩個部分：傳感器和執行器。與傳統的機械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優點，可以滿足物聯網時代對於傳感器的要求。 二、 MEMS分類MEMS傳感器

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