Mems傳感器的分類簡介

Mems傳感器的分類簡介 MEMS傳感器介紹：MEMS的全稱是微型電子機械系統微機電系統。 可批量製作的將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等於一體的微型器件或系統。 也可以把它理解爲利用傳統的半導體工藝和材料，用微米技術在芯片上製造微型機械，並將其與對應電路集成爲一個整體的技術。所以它是以半導體制造技術爲基礎發展起來的一種先進的製造技術平臺。 Mems傳

>>阅读原文<<