MEMS傳感器的未來在哪？

來源：MEMS技術 1  引言 陀螺是用於測量載體相對慣性空間旋轉運動中運動角速度和角度的傳感器，是運動控制、姿態監測、導航制導等領域的核心器件，在工業和國防領域具有廣泛且重要的應用。陀螺從原理上可分爲基於高速旋轉剛體的定軸性與進動性工作的機械轉子類陀螺、基於光的Sagnac效應的光學類陀螺、基於哥氏力效應的振動類陀螺、基於原子干涉的冷原子陀螺及基於原子自旋的核磁共振陀螺等。 其中，基於哥氏力效應

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