Mems傳感器的七大分類是哪些?

Mems傳感器的七大分類是哪些? MEMS傳感器是採用微電子和微機械加工技術製造出來的新型傳感器。它具有體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術附加值高,適於批量化生產、易於集成和實現智能化等特點。 下面是MEMS傳感器七大分類: 1、壓力傳感器:絕對壓力傳感器和計量壓力的傳感器。 2、熱學傳感器:溫度和熱量傳感器。 3、力學傳感器:力、壓強、速度和加速度傳感器。 4、化學傳感器:化學濃度、
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