從MEMS專利數量分析我國MEMS傳感器產業現狀

來源：傳感器專家網 　　MEMS傳感器是採用微機械加工技術製造的新型傳感器，是MEMS系統的重要分支。MEMS傳感器以其優異的性能，如體積小、重量輕、成本低、功耗低、靈敏度高、可批量化生產、易於集成和實現智能化等特點，逐步取代傳統機械傳感器而佔據主導地位。目前，MEMS傳感器主要應用在消費電子、汽車電子、航空航天、工業控制、醫療健康等領域，未來物聯網產業將是MEMS傳感器應用的重要領域。 MEMS

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