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版圖DRC掃描線法的實現
時間 2021-07-12
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1、版圖設計規則檢查(DRC) 1.1 設計規則檢查概述 IC設計邏輯電路最終需要以GDSII等版圖文件格式交於Foundry廠商進入工藝生產線,版圖是一組相互套合的圖形,各層版圖對應各自光刻工藝下的掩膜版圖形,不同工藝水平下光刻掩膜版的設計規則也不盡相同。DRC文件即綜合考慮電學性能與可靠性限制,按照工藝過程所要求的複雜限制來描述版圖幾何圖形關係的規則文件。線寬、間距和覆蓋規則是DRC文件中的
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