三維陶瓷基板製備技術-高低溫共燒陶瓷基板

許多微電子器件 (如加速度計、陀螺儀、深紫外 LED 等) 芯片對空氣、溼氣、灰塵等非常敏感。如 LED 芯片理論上可工作 10 萬小時以上，但水汽侵蝕會大大縮短其壽命 (甚至降低至幾千小時)。 爲了提高這些微電子器件性能 (特別是可靠性)，必須將其芯片封裝在真空或保護氣體中，實現氣密封裝 (芯片置於密閉腔體中，與外界氧氣、溼氣、灰塵等隔絕)。因此，必須首先製備含腔體 (圍壩)結構的三維基板，滿足

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