密度測量：3.MEMS技術

簡介：本節以truedyne sensor公司爲例，介紹了他們的MEMS傳感器技術的積累過程。MEMS傳感器的技術核心，是硅諧振測量通道，與傳統的諧振器技術相比，MEMS傳感器具有許多的優點，例如：更小的尺寸、更加廣泛的應用，以及即使是在低壓、極短的放映時間內也能達到精確的氣體密度測量。   1.什麼是MEMS技術： MEMS的全稱，是Micro-Electro-Mechanical System

>>阅读原文<<