基於新型的MEMS氣體微密度計的密度和濃度測量應用

作者：Christof Huber，Endress+Hauser Flowtec AG, Kägenstrasse 7, CH-4153 Reinach, Switzerland 翻譯：廣州虹科電子科技有限公司 傳感器器事業部 李金濤 摘要：本文探討了最近發佈的基於MEMS（微機電系統）的氣體過程密度計的應用。該傳感器的核心在於諧振的硅微管，在測量過程中，測量氣體會流經該硅微管，硅微管在真空腔中發

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