關於MEMS的技術簡介

MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝製備的微機電系統，微機械結構的製備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結構上製備了電極，以便通過電子技術進行控制。 生活中有哪些MEMS器件？ 第一個可轉動的MEMS馬達於1988年誕生於加州大學伯克利分校，如圖1所示；之後於1989年，美國桑迪亞國家實驗室研

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