有關MEMS的詳細介紹

雖然大部分人對於MEMS(Microelectromechanical systems, 微機電系統/微機械/微系統)還是感到很陌生,但是其實MEMS在我們生產,甚至生活中早已無處不在了,智能手機,健身手環、打印機、汽車、無人機以及VR/AR頭戴式設備,部分早期和幾乎所有近期電子產品都應用了MEMS器件。   MEMS是一門綜合學科,學科交叉現象及其明顯,主要涉及微加工技術,機械學/固體聲波理論,
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