DMD芯片顯示原理的介紹-2016.5.13

DMD精微反射鏡面是一種整合的微機電上層結構電路單元 (MEMSsuperstructure cell)，它是利用CMOS SRAM記憶晶胞所制 成。DMD上層結構的製造是從完整CMOS內存電路開始，再透過光罩層的使用，製造出鋁金屬層和硬化光阻層 (hardenedphotoresist) 交替的上層結構，鋁金屬層包括地址電極 (address electrode)、絞鏈 (hinge)、軛 (y

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