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光刻機的工做原理及關鍵技術
時間 2020-06-02
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來源:傳感器技術 光刻機的工做原理: 利用光刻機發出的光經過具備圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光後會發生性質變化,從而使光罩上得圖形複印到薄片上,從而使薄片具備電子線路圖的做用。 這就是光刻的做用,相似照相機照相。 照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其餘電子元件。 簡單點來講,光刻機就是放大的單反,光刻機就是將光罩上的設計好集成電路圖形經過光線的曝光印
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