光刻機的工作原理及關鍵技術

來源：傳感器技術 　　 光刻機的工作原理： 利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光後會發生性質變化，從而使光罩上得圖形複印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。 這就是光刻的作用，類似照相機照相。 照相機拍攝的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是電路圖和其他電子元件。 簡單點來說，光刻機就是放大的單反，光刻機就是將光罩上的設計好集成電路圖形通過光線的曝光印

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