【PAT】part average testing[零件平均測試]

靜態PAT限制程序 PAT程序的概述是： 從≥6個批次中抽取30個隨機零件（與晶圓批次有5個區域不同的管芯）。在早期包括表徵批次 爲每個測試設置建立一個「穩健平均值」（µ），μ=統計中值，並根據四分位數（Q3和Q1）測量值計算出一個「穩健sigma」，即σ=（Q3-Q1）/1.35。 定義靜態PAT限值= µ±6σ 如果分佈不是高斯分佈（3中的「正態」），則使用「可防禦」技術來標記表現出相同概率的

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