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亞微米SOI脊型波導(課堂筆記)
時間 2021-01-16
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目錄 1.SOI脊型波導 2.taper登場 3.硅nano-slot波導(很奇特,光在折射率低的地方進行了傳輸) 總結 1.SOI脊型波導 首先脊型波導與直波導的區別在於ridge wg不把silicon全刻到底,如下圖留出來35nm的距離,這個留出來的slab可以把電子空穴對有個輸運的作用。 ridge wg相對於strip wg而言,side wall比較小,損耗會降低,應用可以做PN
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