MEMS壓電麥克風

MEMS壓電麥克風 壓電材料 壓電材料是指受到壓力作用在其兩端面會出現電荷的一大類單晶或多晶的固體材料，它是進行能量轉換和信號傳遞的重要載體。最早報道材料具有壓電特性的是法國物理學家居里兄弟，1880年他們發現把重物放在石英晶體上，晶體某些表面會產生電荷，電荷量與壓力成正比，並將其成爲壓電效應。由於壓電材料具有優異的機電耦合效應，可以快速響應外力，因此，將壓電陶瓷作爲壓電換能材料使得麥克風領域開創

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