國內mems技術起步早發展緩慢

我國MEMS的研究始於20世紀90年代初，起步並不晚。在「八五」、「九五」期間一直得到了科技部、教育部、中國科學院、國家自然科學基金委和原國防科工委的支持。 　　但是總體上國內MEMS製造技術與國外存在着較大差距，原因在於MEMS技術與IC技術相比在材料、結構、工藝、功能和信號接口等方面存在諸多差別，往往需要更小的尺寸和較高的精度。 硅基MEMS製造技術在國內的專利公開數量經歷了兩次高峯，分別在2

>>阅读原文<<