Mems技術國內外究竟有哪些差距

一、美國專利數量遠多於中國專利,國外技術研發水平大幅領先。經過對比可知,硅基MEMS製造技術領域美國專利數量遠多於中國。其中,美國授權專利數量達4411件,公開專利申請總量達6648件。而該領域已公開中國專利申請總量爲1799件,其中發明專利爲1659件,實用新型爲140件。已獲得授權的發明專利數量爲704件。   通過專利量年度分佈可看出,近年美國授權專利以及專利申請量趨於平穩,表明該領域已從創
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