EUV光刻機全球出貨量達57臺

來源：內容編譯自「semiwiki」，謝謝。 IMEC是推動半導體技術前進的主要組織之一，日前，他們舉辦了一場線上論壇，談及了對芯片現狀和未來的看法。在演講中，ASML總裁則對光刻的發展進行了演講。從他的PPT中可以看到，浸入式光刻在過去九年中增長了兩倍。 而ASML計劃提高所有曝光工具每小時的晶圓數量。 與此同時， 他指出，EUV繼續爲ASML的客戶提高產量，迄今爲止，他們的客戶已經使用EUV光

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