有關EUV光刻機，你須要知道這些

來源：technewsapp 晶圓製造產業進入7 納米制程以後，目前全世界僅剩臺積電與三星，再加上號稱自家10 納米制程優於競爭對手7 納米制程的英特爾等，有繼續開發能力以外，其餘競爭者因須耗費大量金錢與人力物力的狀況下，都已宣佈放棄。就在7 納米制程節點如下先進製程的領域，必不可少的關鍵就是極紫外線微影（EUV）設備導入。除了三星用在首代7 納米LPP 製程，臺積電也自2019 年開始，將EUV

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