激光干涉儀測量五軸機牀旋轉軸精度的方法

　　激光干涉儀是集光、機、電、傳感技術、信息技術於一體的經典「測控技術」儀器，是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器，可以直接對米進行定義，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，以及進行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等動態測量，廣泛應用於先進製造、科研院所、精密測量等領域。 　　激光干涉儀最主要的應用之一就是機牀精度檢測，下面給大家介紹一下如何用S

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