total variation、global variation、local variation
global variation 全局工藝偏差，指的是同一個器件在不同芯片間的偏差。相對的 local variation，局部工藝偏差，指的是同一個器件在同一芯片不同區域的偏差。 The global corner is used to only express the process global variation which include die to die, wafer to waf
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