SECS半導體通信委員會參考書

適用文件是SECS半導體通信委員會創建的參考書。這些文件的目的是提供協議的結構和描述協議的通用方法。 SECS分爲兩個主要層次:物理連接和邏輯連接。 E4半導體設備通信標準1消息傳輸(SECS一)E37高速SECS消息服務(HSMS)通用服務E5半導體設備通信標準2消息內容(SECS二)E30半導體設備通信和控制通用模型(GEM) E90襯底跟蹤規範E32材料移動管理(MMM) G84條帶映射協議

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