半導體領域主機與設備通信的協議SECS/GEM

SECS/GEM(Semiconductor Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model)是半導體設備和主機進行通訊的協議。更確切地說，SECS/GEM是一組協議的統稱。下圖爲SECS/GEM協議的組成，包括SECS-1，HSMS，SECS-II和GEM協議。html SECS-I規定了設備和主機傳輸時的電氣規格、傳輸速度、消息

>>阅读原文<<