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SECS/GEM金南瓜講解:通訊
時間 2021-01-18
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什麼是GEM 控制狀態? GEM板的控制狀態是E30 GEM的基本要求之一。它定義了主機和設備之間的協作級別,並指定了操作員如何在不同級別的主機控制狀態下進行交互。 在半導體工廠中,主機或操作員可以控制設備的加工。雙方同時控制設備會帶來問題。所以當一方控制設備時,另一方所能進行的操作將受到限制。例如,如果操作員暫停了工藝處理,則不應允許主機發送恢復處理或啓動新作業的命令。GEM控制狀態就是爲了防止
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