一種用於壓力傳感器的溫度控制系統設計

在微電子器件領域，針對SiC器件的研究較多，已經取得了較大進展，而在MEMS領域針對SiC器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內，SiC MEMS的研究非常少，因而進行SiC高溫MEMS壓力傳感器的研究具有開創意義。碳化硅(SiC)具有優良的耐高溫，抗腐蝕，抗輻射性能，因而使用SiC來製作壓力傳感器，能夠克服Si器件高溫下電學、機械、化學性能下降的缺陷，穩定工作於高溫環境，具有光明的應用前景。 然

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