一種六自由度磁懸浮平面電機設計

文章目錄 設計概述 系統組成及功能說明 /System Construction & Function Description 整個系統框架如圖2.1所示： 各個模塊介紹 控制策略 總結 設計概述 在超精密加工與檢測領域，例如半導體光刻、高精度貼片、精密光學透鏡製造、高性能顯微設備中，常常需要高精度定位工作臺在數百毫米的運動範圍內，提供精確可控的平動和轉動。傳統的定位工作臺無法消除機械傳動件間的摩

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