中國光刻機廠家

1. 上海微電子裝備有限公司

上海微電成立於2002年3月，鄰近國家集成電路產業基地、國家半導體照明產業基地和國家863信息安全成果產業化（東部）基地等多個國家級基地。該公司自主研發的600系列光刻機，已經實現90nm的量產，目前正在研究65nm的工藝。

2. 合肥芯碩半導體有限公司

合肥芯碩半導體有限公司成立與2006年4月，是國內首家半導體直寫光刻設備製造商。該公司自主研發的ATD4000，已經實現最高200nm的量產。

3. 無錫影速半導體科技有限公司

無錫影速成立與2015年1月，影速公司是由中科院微電子研究所聯合業內資深技術團隊、產業基金共同發起成立的專業微電子裝備高科技企業。影速公司已成功研製用於半導體領域的激光直寫/製版光刻設備、國際首臺雙檯面高速激光直接成像連線設備（LDI），已經實現最高200nm的量產。

4.先騰光電科技有限公司

先騰光電成立於2013年4月，已經實現最高200nm的量產，在2014國際半導體設備及材料展覽會上，先騰光電亮出了徹底自主知識產權的LED光刻機生產技術，震驚四座。