1.electron
先找到一塊Intel公司的奔三(Pentium III)Coppermine芯片,主頻800MHZ,生產於2000年。(我查了一下,網上的報價如今是15~30元人民幣/塊。)3d
下面是這塊CPU的正面。你能夠看到它分紅兩部分,周圍是一圈綠色的電路板,中間那塊藍色的就是芯片。blog
(本文全部圖片,均可以點擊看大圖。)圖片
2.ip
CPU的背面是密密麻麻的針腳,用來從主板取電和通訊。meta
3.im
爲了把芯片從電路板取出,動用了電鋸。d3
4.cpu
切斷電路板,就能夠取出芯片了。通信
5.
去掉上面的金屬保護蓋,芯片的廬山真面目顯現了,上面有不少閃光的小點。
6.
把這塊芯片放到光學顯微鏡下,看到那些小點都是一個個金屬墊(metal pad),用來鏈接芯片內部與外面的電路板。
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拉近距離,能夠看到金屬墊中間的小洞裏面有一些特殊結構。
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那裏原來是一層層的導線,好像三明治疊在一塊兒。
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調整顯微鏡,依次把焦點對準不一樣的導線,先是上層。
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而後,焦點對準中間的那層導線。
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最後是下層導線。
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導線的下面就是硅片層(晶圓),也就是晶體管的位置。可是這時,光學顯微鏡已經到放大的極限了,只好改用電子掃描顯微鏡(scanning electron microscope)。
由於沒有辦法去掉導線層,因此先把芯片一切二,觀察橫截面。
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能夠看到芯片的底部,也就是金屬層底部有一些線條。
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把底部放大。
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肉眼看到大概有六層,所有都是金屬導線,估計就是剛纔光學顯微鏡裏看到的導線層。
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換一個更好的角度。
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這臺電子掃描顯微鏡的極限是250納米,而奔三的製造工藝是180納米(根據wikipedia),因此無法看見更細的導線層,更不要說下面的晶體管了。
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換一個角度,從上往下看,依然是一層層疊加的導線。因爲暫時沒辦法把這些導線去掉,因此晶體管層仍是看不見。
(完)