硅片清洗流程

1.拿鑷子取硅片，硅片一面爲鏡面，一面爲毛面，重點清洗鏡面；

2.備好清洗架，家用洗潔精；

3.用鑷子夾取硅片，先用通風櫥處的自來水沖洗，以除去附着在表面的較大雜質；

4.戴好手套，將清洗後的硅片鏡面朝上鋪放在左手，滴一滴洗潔精，用右手食指輕搓鏡面一側，泡沫越多說明清洗爲乾淨；——拋光片表面有顆粒和金屬雜質，洗潔精除去表面油性雜質

5.用自來水沖洗掉泡沫，並放入清洗架；

6.在杯中盛入自來水，將放有硅片的清洗架置入杯中，在杯口戴上手套封口，放入超聲清洗機

7.調節參數爲60w，5min，開啓清洗；

8.超聲清洗後用去離子水沖洗，直到看不到泡沫爲止；在杯中放入去離子水，封口，超聲清洗，參數同上

9.將去離子水倒掉，用乙醇代替，步驟同上

10.將乙醇倒去，用丙酮代替，步驟同上

11.在通風櫥配置食人魚水，即濃硫酸和過氧化氫以7：3的比列進行配置，配製溶液時須要佩戴手套，穿戴實驗服，於通風櫥中操做。將過氧化氫（30%，AR）加入到濃硫酸中，體積比3:7，注意順序不要加反 。使用時將玻片放入其中，搖晃10-30秒，取出先用去離子水沖洗，能夠看到表面已經有很好的親水性了，再用超純水清潔，高純氮氣吹乾，該步驟反覆3~4次。最後放到乾淨表面皿中備用。——食人魚溶液，又叫食人魚刻蝕液，是濃硫酸和30%過氧化氫的混合物（7:3），主要用來清潔玻片表面的有機物。該混合物有很強的氧化性，能夠完全的清除基底上的幾乎全部有機質，並且用它處理過的玻片表面會帶羥基，於是高度親水，能夠用於後續修飾。

12.用去離子水沖洗殘液

13.將去離子水倒去，用乙醇代替，步驟同上

14.將乙醇倒去，用丙酮代替，步驟同上——乙醇丙酮，根據類似相容原理，去除有機無機沾污

15.將清洗乾淨的硅片用用氮氣槍吹乾

ITO清洗