一種先進的銅銅混合綁定應用於新疊層CMOS 圖像傳感器

一種先進的銅銅混合綁定應用於新疊層CMOS 圖像傳感器 摘要- 我們成功地引入了先進的銅銅混合綁定爲新疊層的背照式CMOS圖像傳感器.爲形成嚴格的銅銅連接，我們優化了表面平整度關於銅連接焊盤來同時保證電氣連接和製造過程公差。在這個研究中，容差關於銅溢出從觀點關於綁定過程是數量計算的。電氣測試結果顯示我們r魯棒性銅銅混合綁定獲得很好的間距和大範圍的連接。   I、介紹- 我們聲明瞭一種疊層式的BI-

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