**高低溫真空探針臺測試系統**

特點/應用 ◆ 2至6英寸樣品臺 ◆ 高真空腔體 ◆ 防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好 ◆ 77K-675K高低溫環境 ◆ 兼容IV/CV/RF測試 ◆ 外置多探針臂，移動行程大 ◆ 經濟實用，可無縫升級 極低溫測試: 因爲晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉

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