SECS/GEM半導體協議數據採集

SEMI SECS/GEM標準概述 SECS/GEM是由國際半導體設備與材料協會（SEMI）的會員一起構建的連接性標準。 該標準應用於在設備和工廠的MES,CIM等控制系統間建立通訊。 SECS/GEM是SEMI中的半導體設備通訊標準 一般來說，SECS/GEM標準定義了信息、狀態機和情境，設備與工廠選擇性的實現，來讓工廠軟件能夠控制並監視製造設備。 實現 GEM 接口 　　GEM 工廠自動化提供

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