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MEMS最成功的產品是什麼?
時間 2021-01-09
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MEMS是當代國際矚日的重大科技探索前沿陣地之一,新研發的MEMS樣品不斷被披露出來,從敏感MEMS拓展到全光通信用光MEMS、移動通信前端的RF-MEMS、微流體系統等信息MEMS。光MEMS包括微鏡陣列、光開關、可變衰減器、無源互連耦合器、光交叉連接器、光分插複用器和波分複用器等,MEMS與光信號有着天然的親和力;RF-MEMS包括射頻開關、可調電容器、電感器、諧振器、濾波器、移相器、天線等關
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